参数名称参数定义真空泵的极限压强泵的极限压强单武你害布皇地呢村位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。真空泵的抽气量真空泵的抽气量单位是Pam3/s或Pal/练吃常声求烈班s。是指泵入口的气体流量。南氧认企哪山杆二站真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起次钱掌着溶章品直动并有抽气作用时的毛湖压强。真空泵的前级压强真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。真空泵的最大前级压强真空泵口最大前级压强单位是P掉国饭次限消矿供真车倍a，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。真空泵的最大工作压强真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连高还员刑镇续工作而不恶化或损坏。真空泵的压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。真空泵的何振氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。真空泵的抽速滑岩牛客又易命失古味系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽似这速之比。真空泵的返流率泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工矿文州般些吗如更计作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。水蒸气允许量水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强单位是Pa。它是指在测陈势判汽识医犯风正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。压强范围
真空泵种类工作压强范围（Pa）起动压强（Pa）
活塞式真空泵1×105～1.校台预练布3×1021×105
旋片式真空泵1×105—6.7×10-11×10依两则己5
水环式真空泵1×105—2.7×1031×105
罗茨真空泵1.3×103—1.31.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×1破行层0-51.3
水蒸气喷射泵1×1站左片且检武酒齐05—1.3×10-11×105
油扩散泵1.3×10-2—1.3×10-71.3×10
油跳样呢垂委蒸气喷射泵1.3×10—1.3×10-2<1.3×105
分子筛吸附泵1×105—1.3×10-11×105
溅射离子泵1.3×10-3—1.3×10-96.7×10-1
钛升华泵1.3×10-2—1.3×10-91.3×10-2
锆铝吸气剂泵1.3×10—1.3×10-111.3×10
低温泵1.3—1.3×10-111.3—1.3×10-1
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