1785年，德国人在使用电机时，发现在电机放电时产生一种异味。1840年法国科学家沈(Schonbein)将此异味确定为O3，而命名为ozone（臭氧）。自此以后，欧洲的科学家率先开始研究臭氧的特性和功用，发现臭氧的广谱灭菌效果后，开始工业生产应用。
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